“光刻机之父”林本坚:中国现有设备能造出5nm芯片,美国惊呼:中国比想象强
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“光刻机之父”林本坚:中国现有设备能造出5nm芯片,美国惊呼:中国比想象强
发布日期:2026-01-09 07:18    点击次数:151

林本坚出生于1942年,在IBM干了22年,又在台积电负责研发。他一生专注于光的波长与光刻技术,当全行业都在烧钱追157纳米干式光刻时,他提出“浸润式光刻”,在镜头和晶圆之间加入一层水,把光波折射成更短的波长。

这个想法当时只有ASML信,尼康不信,结果ASML成为半导体设备霸主,尼康被甩在后面。一直坚持自己的判断,他强调工程实践远比理论讨论重要。“你越封锁,我越逼着自己找到路。”这句话后来成为中国半导体突破的真实写照。

美国本以为封锁光刻设备,中国芯片就会停在7纳米甚至更大。事实是,中国工程师没有投降。利用普通DUV光刻机,采用SAQP(自对准四重图案化)工艺,把每一步光刻、蚀刻、沉积重复四次,就能把38纳米极限拉到5纳米。

这一过程代价巨大:流片一次成本约3亿元人民币,良率仅50%。相比台积电90%的成熟良率,这看似赔本,但生存逻辑不同。军用芯片、服务器芯片、高端手机芯片,不是讲利润,而是“有没有”的差别。中国市场庞大,哪怕良率低,也能把成本摊平。

这一突破不仅是技术层面,更是战略层面的胜利。封锁本意是让中国在半导体上受制于人,但多重曝光路线显示,中国能够绕开垄断,自主推进核心产业。SAQP工艺带动整个产业链国产化,光刻胶、蚀刻机、沉积设备的国产替代正在加速。

这背后体现了中国工程师的坚持、市场韧性和国家战略决心,也让世界看到另一种可能:在资源有限、封锁严厉的情况下,生存需求和技术创新可以把不可能变成可能。

5纳米芯片突破,不仅打破西方技术迷信,也改变了全球半导体格局。过去的逻辑是“谁有EUV谁是老大”,现在的逻辑是“谁能把现有设备用到极限,谁就掌握话语权”。林本坚的思路和中国工程师的坚持告诉世界:封锁只会催生创新,傲慢会被现实打脸。

“技术封锁是压力,也是最有效的催化剂。”

未来,全球半导体竞争将不再仅靠设备,而靠策略、韧性和极限工程能力。中国已经证明:哪怕手里只有次一级设备,也能造出最顶尖的成果。这一突破,是对西方技术迷信的真正祛魅。



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